来,放在检测台上。
椭偏仪启动,激光打在镜面上,反射,探测器接收。
数据出来了。
小周看着屏幕,念数:“单层膜厚度误差,零点零三五纳米。”
钱院士没说话。
手册要求零点零二,他们做到了零点零三五。没达标,但比原来的零点零八好了一倍多。
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“反射率呢?”
小周切换到下一组数据:“十三点五纳米波长,反射率百分之六十二点三。”
钱院士看着这个数字。
手册上蔡司的指标是百分之六十七,差了不到五个点。
但是,EUV光刻机的最低工作门槛是百分之六十。
他们过线了。
钱院士走到角落,拿起电话。
“红旗,光打通了。”
张红旗在煤市街的院子里,正看着陈默送来的一份报告。
“什么意思?”
钱院士声音平稳:“极紫外光源,十三点五纳米,穿过反射镜面,形成了稳定光束。参数达到了EUV光刻的最低发光标准。”
张红旗把手里的报告放下。
“钱老,您确认?”
“仪器记录的,白纸黑字。反射率百分之六十二点三,过了百分之六十的门槛。”
张红旗站了起来,走到院子里。槐树叶子在夜风里晃。
“这是第一步。”
钱院士说:“是第一步。后面还有光源系统、物镜组、工件台、掩模版,每一项都是硬骨头。但镜面这关,算是过了。”
张红旗说:“钱老,辛苦了。数据锁好,不要外传。”
“放心。”
挂了电话。
张红旗回到书房。桌上摊着麦佳佳从洛杉矶发来的一份行业报告。
他坐下来,翻到第十四页。
全球宽带网络用户增长曲线。
二零零一年底,全球宽带用户五千万;二零零二年中,八千万;预计年底突破一点二亿。
增长率,年化百分之一百四十。
张红旗盯着这条曲线。
他翻到下一页。中国市场,宽带用户从年初的三百万半年涨到六百万,网吧数量突破十万家。
他合上报告,拿起笔,在笔记本上写了一行字。
“宽带,内容,平台。”
他划掉了“平台”两个字,又写上。
“先做内容。”
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